1引言
由于擴散硅
壓力變送器采用了硅彈性材料、半導(dǎo)體工藝和微機械加工技術(shù),它體積小(芯片2×2mm)、成本低、精度一、穩(wěn)定性好,且能以O(shè)EM方式提供給整機廠進行二次開發(fā),所以得到了迅速普及。擴散硅壓力傳感器通過擴散電阻的壓阻效應(yīng)感應(yīng)壓力變化,從根本上受溫度影響比較高大,限制了它在寬溫區(qū)的精度。
2擴散硅壓力變送器的溫度補償方法
擴散硅壓力變送器的溫度補償一般分內(nèi)補償和外補償。內(nèi)補償通過傳感器的設(shè)計、制造工藝,封裝材料、形式來減小特點和滿量程的溫度系數(shù),特別是通過控制擴散阻條的摻雜濃度,使傳感器的滿量程溫度系數(shù)控制在0.75FS/全溫區(qū),在一般應(yīng)用中做到滿量程***補償。由于內(nèi)補償有局限性,所以必須進行外補償。外補償?shù)男问蕉鄻?有通過固定電阻網(wǎng)絡(luò)的兩點式補償(特點和滿量程的溫度系數(shù)為0.75FS/70℃,0～70℃);通過熱敏電阻網(wǎng)絡(luò)的三點式補償(特點和滿量程的溫度系數(shù)為0.5FS/55℃,-30～+80℃;通過單片機的智能多點補償(智能壓力變送器)等。近年來,集信號處理、溫度補償于一體的壓阻式傳感器專用信號調(diào)理芯片(SSC)以其高集成、多功能,大大提高了擴散硅壓力傳感器的性能價格比。這類芯片的溫度補償方法與單片機的智能多點補償類似,通過溫度傳感器檢測環(huán)境溫度,溫度值經(jīng)A/D轉(zhuǎn)換作為地址指針,儲存在存貯器中此地址的特點和滿量程的溫度修正系數(shù)經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換成模擬量,修正傳感器輸出信號中特點和滿量程的溫度漂移。這類芯片的存貯器的類型有ROM、EPROM(SCA2095)、E2PROM(MAX1457)型;
有片外,也有集成在片內(nèi)(SCA2095)的。溫度傳感器有的集成在片內(nèi),有的外接,還有的利用擴散硅壓力傳感器橋路電阻的溫度敏感性來感應(yīng)溫度。
3MAX1457的組成及補償原理
MAX1457是這種專用芯片中比較高典型的1個,它包括1個傳感器激勵電流源;1個3位可編程增益放大器;5個16位D/A轉(zhuǎn)換器;1個12位帶可編程數(shù)字增益和數(shù)字偏置調(diào)整的A/D轉(zhuǎn)換器和1個通用運算放大器。
MAX1457利用擴散硅壓力傳感器橋路電阻的溫度敏感性來感應(yīng)溫度,不僅可以補償傳感器特點和滿量程的溫度系數(shù)的******誤差(相當于兩點補償),還可以通過查表法補償特點和滿量程的溫度系數(shù)的******誤差。E2PROM中特點和滿量程的溫度系數(shù)存貯數(shù)量各為120個(240字節(jié)),如果溫度分辨率足夠的話,對于從-40～+125℃,可以每隔1.4℃插特點。一般擴散硅壓力傳感器特點和滿量程的溫度系數(shù)為0.01FS/℃,故理論上傳感器溫度誤差可以補償?shù)?.014FS/℃(-40～+125℃).
MAX1457特點溫度補償如圖1所示,它是將存貯在E2PROM中的特點溫度漂移值經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換為模擬量OTCDAC后,經(jīng)A1放大,再通過求和電路與經(jīng)過PGA放大的傳感器信號相加減,達到補償特點溫度誤差的效果。
MAX1457滿量程溫度補償采用與兩點補償和三點補償同樣的原理,改變傳感器的供電電流。對于恒流激勵模式,擴散硅傳感器的輸出如下式:
Vout=S·Rb·Ib
滿量程溫度系數(shù)為靈敏度溫度系數(shù)與橋路電阻溫度系數(shù)之和,由于制造工藝原因,滿量程溫度系數(shù)很難控制為***,通常控制為正數(shù),再通過改變傳感器供電電流Ib的溫度系數(shù),進一步補償。如圖2所示,
MAX1457將存貯在E2PROM中的滿量程溫度漂移值
轉(zhuǎn)換為模擬量FSOTCOUT,改變鏡像電流源I,進而改變擴散硅傳感器供電電流Ib,將滿量程溫度誤差修正到要求值。
4全溫區(qū)精度(0.1***)壓力變送器的研制
MAX1457的功耗很低,電源電流更為2.6mA,可以用于二線制,4～20mA信號輸出的全溫區(qū)精度壓力變送器中。應(yīng)用MAX1457研制的壓力變送器組成如圖3所示。
由于是全溫區(qū)(-30～+80℃)壓力變送器,所以要考慮MAX1457供電電源的溫度系數(shù)。MAX1457的輸出是將傳感器輸出信號放大的電壓信號(0.5～4.5VDC),壓力變送器將此電壓信號經(jīng)過V/I變換,轉(zhuǎn)為電流信號輸出0～16mA,此電流與電源電流4mA疊加成兩線制4～20mA輸出。電源電流由各個元器件的耗電電流決定,各個元器件的耗電電流在不同溫度下的變化將影響傳感器的特點輸出電流,雖然這個變化量可通過MAX1457補償,但是卻增加了對傳感器特點溫度系數(shù)的要求。測量評估板在不同溫度下的電流(包括傳感器耗電電流0.5mA),-30℃時為3.36mA,25℃時為2.87mA,80℃時為2.67mA.其變化量相當于4.5FS,通過在電路中采用高溫度系數(shù)恒流源提供電路電源電流來消除這個影響。
通過MAX1457補償傳感器特點、量程溫度系數(shù),
一般要求傳感器特點溫度系數(shù)不大于1.5倍靈敏度溫度系數(shù)(TCS),傳感器量程溫度系數(shù)應(yīng)為正。傳感器量程溫度系數(shù)為負時,應(yīng)在傳感器供電電流部分加二***管校正;傳感器特點失調(diào)過大超出MAX1457補償范圍時,可在傳感器橋路中串電阻進行修正。
用MAX1457進行溫度補償,首先要進行******線性補償,然后再進行******矢量插值補償。對于-30～+80℃溫度補償,******線性補償通常選-35℃、
+85℃.******矢量插值通常從低溫-35℃開始,且要注意地址數(shù)字增益要合適,以防插值到高溫時,超出存貯器存貯范圍,前功盡棄。
用MAX1457研制精度壓力變送器,在線路板布線時要防止引入干擾。
部基準可以選用GPS信號等。
QRS除在導(dǎo)航系統(tǒng)中有廣泛的應(yīng)用外,還可應(yīng)用于醫(yī)院的自動升降機、救護車中。
3.2 在控制系統(tǒng)中的應(yīng)用
在控制系統(tǒng)中使用QRS時,應(yīng)該考慮傳感器響應(yīng)中幅值與相位的關(guān)系。典型的控制系統(tǒng)應(yīng)用是在機械結(jié)構(gòu)的減振系統(tǒng)中。機械結(jié)構(gòu)幾乎沒有純粹的線性運動,大都包含有轉(zhuǎn)動部分或是軸,飛機、汽車、船只的減振系統(tǒng)都會用到QRS.
在閉合控制系統(tǒng)中使用時,必須注意穩(wěn)定性,即使測試平臺移動了,QRS與被測量部分也必須很牢固地耦合,不能有任何移動,通常需要在萬向支架上安裝攝像機或***天線來監(jiān)測它。當然,萬向支架在伺服控制環(huán)的帶寬內(nèi)應(yīng)沒有機械振動,應(yīng)該考慮伺服系統(tǒng)的轉(zhuǎn)換函數(shù),設(shè)計時保證足夠的相位冗余以防止振動。為了能夠自由移動攝像機或***天線,所設(shè)計的控制系統(tǒng)必須能夠?qū)C偏移量進行控制,以便旋轉(zhuǎn)定位支架上的攝像機。
圖3為QRS在控制系統(tǒng)的典型應(yīng)用。QRS是伺服控制環(huán)中的底部分,可用于為移動望遠鏡提供指向角度和圖象穩(wěn)定性信息。為簡單起見,望遠鏡被固定在僅能沿空間方位轉(zhuǎn)動的測試臺上。
對于低頻控制環(huán)部分,由于垂直方向的基準單元確保望遠鏡所在點的指示角度與測量目標的角度相匹配,因此必須設(shè)定一個長期穩(wěn)定的位置基準。一般情況下,控制環(huán)中還應(yīng)有一個成比例或差分控制元件。
4 結(jié)論
基于慣性敏感技術(shù)的石英晶體轉(zhuǎn)動傳感器可以提供簡單可靠的轉(zhuǎn)速測量,因此可在新型儀器的設(shè)計、導(dǎo)航系統(tǒng)以及控制系統(tǒng)中廣泛使用。